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高级制程控制/PlantU APC
Advanced Process Control

主要通过对产品加工过程中的生产数据、量测数据等进行数据挖掘与分析，建立系统运行模型，利用系统模型进行工艺参数实时优化控制。PlantU APC广泛应用于半导体行业，涉及硅片，前道，封测等不同工厂。 

产品功能
国产化,自主知识产权
图形化Workflow
Trouble shooting支持可视化追溯异常
B/S架构，高可用，低代码，跨平台
导入效果
  • 1
    提升机台制程能力，提高工艺稳定性和一致性
  • 2
    减少人员介入,降低出错风险，降低生产成本
  • 3
    显著提高产品良率，减少报废和返工
  • 4
    提升自动化和智能化水平
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