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缺陷监测与分类/PlantU FDC
Fault Detect and Classification

通过采集设备参数,观察参数的变化,自动侦测设备异常趋势,提供精确监控模型,有效防止不可控因素对生产造成影响,助力设备稼动率、产能和工艺良率提升。

产品功能
自适应监控架构:可视化窗口支持特征值动态扩展与算法配置;监控模型兼容多数据库训练,保障高负荷精度与可扩展性
低侵入数据集成:PT采集方案最小化MES/EAP系统耦合;集中式配置实现原始数据/统计数据同步监控
敏捷规则管理:可视化规则/告警策略配置界面;规则模板复用降低设备上线复杂度;控制窗口灵活适配多场景需求
导入效果
  • 1
    工艺稳态保障:侦测流量/耗材/零部件异常,维持设备最佳加工状态,提升良率
  • 2
    设备精准追溯:基于加工数据溯源异常零部件,支撑工程师设备特性分析
  • 3
    批量报废预防:及时拦截设备异常加工,避免硅片批量报废
  • 4
    稼动率优化:辅助维保决策与部件异常定位,缩短复机时长
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