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失效与风险芯片标注系统/PlantU INK Pro

PlantU INK Pro是互动式失效与风险芯片自动化标注系统，结合各种PAT与几何算法，智能判定标注失效与风险芯片，支持INK Map运算及产出的自动化，常应用于风险芯片挑选自动化、芯片标记自动化、风险芯片质量管理。

产品功能
提供多种风险目标的种类，包含特定缺陷数据的芯片挑选、含有特定Bin Code的Shot INK、每个光罩重复芯片的Repeat Shot INK、特定区域的参数统计筛选Zone INK
提供多种扩张规则，包含以目标芯片或Bin为中心扩张的圆、椭圆、十字或矩形，以目标芯片为中心的周围宫格形扩张
INK Pro通过半径、角度即可制定范围，亦支持反选的便利操作，可将晶圆上的风险区域直接标记
导入效果
  • 1
    根据晶圆测试结果与缺陷分布，以算法识别风险芯片并标记，相较传统人工挑选，效率提升120倍，将人为失误(MO)风险归零
  • 2
    利用大数据进行高风险芯片自动化追踪，及时报错异常，并针对可能的测试异常、制程异常等问题进行改善，及时防止异常扩大，对于良率改善与质量稳定有显著的效益
  • 3
    解决相异数据源，因座标系统定义不同而造成的对准错误，同时确保产品信息、曝光位置、晶圆测试座标与缺陷座标数据能准确对齐并进行叠图分析，并保证高风险芯片标记准确性
  • 4
    自动化追踪结果一目了然，在各关键制程检测后即可查询自动化追踪的结果，进行叠图后，观察各层标记的结果，以及各规则自动化追踪结果的统计信息，以供制程改善参考
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