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缺陷管理系统/PlantU DMS
Defect Management Solution

具有强大互动式界面的缺陷分析与缺陷数据自动化处理系统,可以大幅提升缺陷改善率,加速缺陷原因调查,能将缺陷检测设备产生的数据进行处理,并提供友善的缺陷分析界面,提高缺陷分析效率。

产品功能
缺陷数据处理自动化:系统可自动处理来自 AOI 或其他半导体缺陷检测设备的数据,包括缺陷文件的转移、格式转换与数据库导入;通过兼容多种检测机台的数据格式
缺陷互动分析:提供了高度互动的分析界面,也提供了各式进阶的缺陷分析功能,如:Stack Map、Defect to CP、Defect Zone analysis等产业应用
导入效果
  • 1
    缺陷图分析:透过缺陷图查看,确认缺陷地理位置分布趋势,亦可针对缺陷查看图片,并进行光罩与区域重复性等分析行为
  • 2
    缺陷图分析:透过缺陷图查看,确认缺陷地理位置分布趋势,亦可针对缺陷查看图片,并进行光罩与区域重复性等分析行为
  • 3
    缺陷图片分类:缺陷图片经由人员判断、归类图片可作为制程真因参考,快速根据图片进行缺陷分类,可提升工程人员缺陷真因查找的效率
  • 4
    缺陷对电测数据叠图:缺陷对于良率的影响可透过Kill Ratio分析进行缺陷杀伤力层级分类
  • 5
    缺陷对电测数据叠图:缺陷对于良率的影响可透过Kill Ratio分析进行缺陷杀伤力层级分类
  • 6
    支持Al算法:自动识别缺陷点位空间规则特征,快速锁定非随机异常
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